دستگاه پمپاژ گاز وکیوم HYKS-1000/300 SF6

این پمپ خلاء یک پمپ خلاء پره ای دوار مستقیم-کوپل شده است. این شامل یک روتور است که در داخل محفظه استاتور نصب شده و دو پره که درون شکاف‌های روتور می‌لغزند. این دو پره که توسط نیروی فنر و نیروی گریز از مرکز محکم به دیواره سیلندر فشار داده شده اند، فضای داخلی را به دو طرف ورودی و خروجی جدا می کنند. همانطور که روتور به طور مداوم در یک جهت ثابت می چرخد، محفظه ورودی-به صورت چرخه ای برای جذب گاز منبسط می شود، در حالی که محفظه جانبی اگزوز{5}}به تدریج منقبض می شود تا گاز کشیده شده-فشرده شود. سپس گاز فشرده شده از طریق دریچه اگزوز خارج می شود و بدین ترتیب به هدف تخلیه گاز دست می یابد. این پمپ ساختار دو مرحله‌ای دارد. هنگامی که فشار ورودی نسبتاً زیاد است، هر دو مرحله گاز را به طور همزمان از محفظه پمپ تخلیه می کنند. هنگامی که فشار ورودی پایین است، گاز از طریق ورودی وارد مرحله فشار بالا می‌شود، پس از فشرده‌سازی اولیه، از طریق عبور هوای بین{14}}مرحله‌ای وارد مرحله فشار پایین{13}}می‌شود و در نهایت پس از فشرده‌سازی ثانویه از طریق دریچه اگزوز تخلیه می‌شود. به همین دلیل، می تواند خلاء نهایی بالاتری نسبت به پمپ های تک مرحله ای- ارائه دهد.